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LDI双面RTR曝光机

1111 - 副本.jpg

产品特色

  卷对卷双面光刻

Volume-to-volume double-sided lithography

   一机多用,单面,双面,内层,冲孔板作业

One machine multi-purpose, single, double, inner layer, punching plate operation

   高解析度 LDI 光源上下框可抽出式清洁方式

High-resolution LDI light source.The upper and lower boxes can be drawn out of the cleaning way



标准规格   STANDARD SPECIFICATIONS

光路解析能力

 25/25um

Optical path resolutioncapability

 25/25um

线宽/线距样品生产能力

 40um/40um

Line width/pitch sample production capacity

 40um/40um

线宽/线距量产生产能力

 50um/50um

Line width/line spacing capacity

 50um/50um

线宽公差

 ±5um

Tolerance of line width

 ±5um

对准方式

 MARK/靠边/孔

Alignment

Mark/Edge/hole

外层对位精度

 ±10μm

Outer alignment accuracy

 ±10μm

层间对位精度

 ±5μm

Interlayer alignment accuracy

 ±5μm

光源类型

 激光

Type of light source

Lasers

光源寿命

 ≥10000小时

Light source life

≥10,000 hours

资料分辨率

 1.2um

Data resolution

 1.2um

曝光方式

 双面曝光

Exposure mode

Double exposure

输送方向

 左放右收/右放左收

Direction of transportation

Left to right/right to left

曝光长度

 max:610

Exposure length

 max:610

光路数量

 ≥6个

Number of light paths

 ≥6个

光路一次曝光宽度

 ≥30mm

Light path one exposure width

 ≥30mm

能量均匀性

 ≥95%

Energy uniformity

 ≥95%

靶点识别

 通孔/PAD/银点/mark/半通孔

Target recognition

Through Hole/PAD/silver dot/mark/semi-through hole

拼接误差

 ±3um

Splicing error

 ±3um

卷材宽度

 max:500 mm

Width of coil

 max:500 mm

卷材类型

 铜及合金/钢及合金/钛

Coil type

Copper and alloy/steel and alloy/titanium

卷材重量

 ≥350kg

Weight of coil

 ≥350kg

卷材外径尺寸  mm

 ≤800

Coil outer diameter size mm

 ≤800

卡盘内直径  mm

400

Diameter of Chuck mm

400

卷材厚度     mm

 0.02-0.4mm

Coil thickness mm

 0.02-0.4mm

输送速度  m/min

 ≥1.7

Conveying speed m/min

 ≥1.7

产能  平米/天

 >646平米

Capacity, square metre per day

 >646平米

EPC精度  mm

  ±0.5mm

EPC accuracy mm

  ±0.5mm

具体参数以实物为准


固话:0512-57803637

手机:13584942347

邮箱:ksdragonrun@126.com

地址:江苏省昆山市高新区元丰路232号(国家火炬机器人产业基地)4号楼

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